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多项选择题关于超声波的物理概念，下列哪些是正确的( )

A、超声波属机械波

B、超声波的频率在20kHz以上

C、医用诊断用超声的频率一般在1MHz以上

D、超声波有纵被、横波、表面波等3种

E、医用诊断用超声波的纵波

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